蝶翼式MEMS加速度计温度稳定性提升方法

蒲金飞, 侯占强, 虢晓双, 曾承志, 肖定邦, 吴学忠

中国惯性技术学报 . 2022, (2): 235 -239 . DOI: 10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2022.02.015