摘要： 谐振式加速度计能够将加速度直接转化为稳定的频率信号，可以获得优良的性能。针对目前石英谐振加速度计灵敏度偏低，以及温度变化等因素引起的频率漂移等难题，提出了一种基于多电极谐振器的集成式石英加速度计的信号处理与融合的方法。集成式石英加速度计输出多路谐振信号，形成差频信号，融合后可以得到高精度的数字信号，设计了基于FPGA的电路实现方案。通过实验测试结果，输出数据响应时间为125 ms的条件下，传感器标度因数从传统的100 Hz/g以下提升到1742.5 Hz/g，线性相关系数为R~2=0.9985。提出的信号处理与融合方法具有较高的信号处理实时性，显著提高了石英谐振加速度计的灵敏度，可以应用于集成式石英谐振加速度计数据信号处理以及实时测量系统中。