中国惯性技术学报 ›› 2024, Vol. 32 ›› Issue (1): 64-70.doi: 10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2024.01.009
MEMS加速度计全温性能优化方法
摘要： 针对微机电系统（MEMS）加速度计全温性能低的问题，提出锚区应力对消方法、低应力粘接工艺和温度补偿方法。首先，通过调整两个键合的锚区面积大小实现锚区应力对消，使得加速度计的温度性能得到改善；然后，建立加速度计堆叠封装模型并对专用集成电路（ASIC）粘接参数、加速度计敏感结构点胶方式与点胶参数进行仿真分析，从而确定了加速度计的低应力粘接形式和粘接工艺；最后，对加速度计零偏和标度因数设计了三阶温度补偿方法并进行了实验测试。实验结果表明，加速度计全温零偏稳定性达到47.3 μg（1σ）、全温标度因数稳定性达到43.6 ppm（1σ），提高了加速度计的全温性能。